ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

โครงการระบบไอออนอิมพลานเตชั่นเพื่องานวิจัยและฝึกอบรมสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตแผ่นวงจรรวม

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : โครงการระบบไอออนอิมพลานเตชั่นเพื่องานวิจัยและฝึกอบรมสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตแผ่นวงจรรวม
นักวิจัย : สมศร สิงขรัตน์ , Somsorn Singkarat
คำค้น : Electrical and electronic engineering , Electronic industries , Engineering and technology , Integrated circuits , Ion implantation , วงจรรวม , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาวิศวกรรมศาสตร์และอุตสาหกรรมวิจัย , อุตสาหกรรมการผลิตแผ่นวงจรรวม , อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ , ไอออนอิมพลานเตชั่น
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2544
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/20107
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ได้กลายเป็นหนึ่งในอุตสหกรรมหลัก สำหรับตลาดในประเทศ และตลาดการส่งออก โดยสามารถสร้างรายได้เข้าประเทศเป็นอันดับต้นๆ และมีอัตราส่วน 30% ของมูลค่าสินค้าส่งออกทั้งหมดในปีที่ผ่านมา หากประเทศไทยต้องการที่จะคงความสามารถในการแข่งขันสำหรับอุตสาหกรรมนี้ จำเป็นที่จะต้องเพิ่มขีดความสามารถจากเดิมที่เป็นเพียงผู้รับจ้างประกอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งจัดเป็นอุตสาหกรรมปลายน้ำ ไปสู่ผู้ผลิตชิพวงจรรวม ซึ่งเป็นอุตสาหกรรมต้นน้ำ และมีมูลค่าเพิ่มสูง แต่ในขณะเดียวกันก็ต้องอาศัยเทคโนโลยีขั้นสูงด้วยเช่นกัน ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ ได้จัดตั้งศูนย์วิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ หรือที่เรียกโดยย่อว่า โครงการ TMEC ขึ้น เพื่อรับิดชอบงานวิจัยและพัฒนาทางด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์ อย่างไรก็ตาม ไอออนอิมพลานเตชัน ซึ่งมีความแม่นยำในการโ๊ป และการกระจายอะตอมอย่างมีแบบแผน เป็นเทคนิคหนึ่งที่สำคัญสำหรับเทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ตัวอย่างเช่น การทำ CMOS ต้องใช้การทำไอออนอิมพลานเตชันถึง 12 ครั้ง เพื่อให้การดูแลรักษา ซ่อมแซม และปรับปรุง เครื่องมือที่มีความซับซ้อนสูงเช่นนี้ สามารถดำเนินการได้เองภายในประเทศ เพื่อสนับสนุนให้งานของโครงการ TMEC มีเสถียรภาพดีขึ้น จำเป็นที่จะต้องมีหน่วยงานที่ทำงานวิจัยด้านนี้อยู่ก่อนแล้ว เช่นที่มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ เป็นกำลังเสริม รวมถึงการพัฒนาเทคโนโล่ยีและการฝึกอบรมบุคคคลากร ทางด้านไอออนอิมพลานเตชัน โครงการที่นำเสนอนี้มีระยะดำเนินการสองปี ในห้วงแรกของการดำเนินงาน โดยมีวัตถุประสงค์เพื่อติดตั้งเครื่องไอออนอิมพลานเตอร์ รุ่น 200-DF5 ของบริษัท VARIAN สำหรับผลิตแผ่นวงจรรวมขนาด 4 นิ้ว และพัฒนาเทคโนโลยีและกำลังคนที่เกี่ยวข้อง คำสำคัญ เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์ , แผ่นวงจรรวม

The electronics industry has become one of Thailands largest industries both for domestic and export markets. It contributes over 30% of Thailands export in recent years. To keep competitiveness in this area, Thailand has to expand upstream from the present assembly and packaging based manufacturing towards advanced manufacturing of microelectronics. Therefore, National Electronics and Computer Technology Center (NECTEC) has started the Thai Microelectronics Center Project (TMEC) to build a Research and Development center for microelectronics. However, ion implantation with its unique capability of achieving accurate doping levels and depth profiles is a key technology for the industry, for instance, a typical CMOS process needs at least 12 different steps from ion implantation. For a capability of an in house maintenance and development of such a complex equipment as ion implanter, for the sake of the stability of the TMEC output, it is an obvious choice to back them up with ion implanter already existing elsewhere in Thailand at Chiang Mai University. It is also a good addition for the development of skill and knowledge of local manpower. This proposed project covers a period of two years for the first phase. It aims to establish an ion implantation facility based on the VARIAN implanter of model 200-DF5 for implanting 4-inch wafer and for training potential manpower.

บรรณานุกรม :
สมศร สิงขรัตน์ , Somsorn Singkarat . (2544). โครงการระบบไอออนอิมพลานเตชั่นเพื่องานวิจัยและฝึกอบรมสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตแผ่นวงจรรวม.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
สมศร สิงขรัตน์ , Somsorn Singkarat . 2544. "โครงการระบบไอออนอิมพลานเตชั่นเพื่องานวิจัยและฝึกอบรมสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตแผ่นวงจรรวม".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
สมศร สิงขรัตน์ , Somsorn Singkarat . "โครงการระบบไอออนอิมพลานเตชั่นเพื่องานวิจัยและฝึกอบรมสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตแผ่นวงจรรวม."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2544. Print.
สมศร สิงขรัตน์ , Somsorn Singkarat . โครงการระบบไอออนอิมพลานเตชั่นเพื่องานวิจัยและฝึกอบรมสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตแผ่นวงจรรวม. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2544.