ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

อุปกรณ์ตรวจจับสนามแม่เหล็กชนิดตัวต้านทานแม่เหล็กแบบฟิล์มบาง NiFe หนึ่งชั้น

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : อุปกรณ์ตรวจจับสนามแม่เหล็กชนิดตัวต้านทานแม่เหล็กแบบฟิล์มบาง NiFe หนึ่งชั้น
นักวิจัย : อาคม ศรีหาเพท , ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , พุทธพล เพ็งพัด , ประภาพรรณ วิภาตวิทย์ , ศุภนิจ พรธีระภัทร , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Arckom Srihapat , Chana Leepattarapongpan , Naritchaphan Penpondee , Putapon Pengpad , Praphaphan Wipatawit , Supanit Porntheeraphat
คำค้น : Ferromagnetic , Magnetization , Magnetoresistive sensor , Semiconductor materials and devices , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2552
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/19369
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This paper presents a study fabrication and characterization of anisotropic magnetoresistive sensor. This device operation base on magnetic field caused by resistance variation (∆R) of ferromagnetic material and it has been fabricated study the fabrication by lift off process. The study relation between current, voltage, resistance and sensitivity of magnetoresistive sensor are investigated on magnetic field parallel direction(BY). Experiment result show increment of sensitivity depend on their magnetoresistive sensor and high sensitivity of 1.5×10-2 V/G shows at condition of 22 kΩ and the low sensitivity of 3×10-3 V/G shows at 4 kΩ.

บทความนี้นำเสนอการศึกษากระบวนการสร้างและคุณสมบัติของอุปกรณ์ตรวจจับสนามแม่เหล็กชนิดตัวต้านทานแม่เหล็ก ซึ่งการทำงานอาศัยความหนาแน่นสนามแม่เหล็กทำให้เกิดการเปลี่ยแปลงค่าความต้านทานในวัสดุฟิล์มบางแม่เหล็ก ((∆R) โดยทำการศึกษากระบวนการสร้างอุปกรณ์ด้วยชั้นฟิล์มบาง NiFe และเทคนิค lift off โดยศึกษาความสัมพันธ์ระหว่างกระแสไฟฟ้า แรงดันไฟฟ้าและค่าความต้านทาน ซึ่งมีผลต่อค่าความไวของอุปกรณ์ในการตรวจจับสนามแม่เหล็กทิศทางขนาน ((BY) จากการศึกษาทดลองเปรียบเทียบพบว่าค่าความไวในการตรวจจับสนามแม่เหล็กมีค่าสูงตามค่าความต้านทานของอุปกรณ์ โดยที่ค่า 22 kΩ มีค่าความไวที่สูงคือ 1.5×10-2 V/G และอุปกรณ์ที่ค่า 4 kΩ มีค่าความไวที่ต่ำคือ 3×10-3 V/G

บรรณานุกรม :
อาคม ศรีหาเพท , ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , พุทธพล เพ็งพัด , ประภาพรรณ วิภาตวิทย์ , ศุภนิจ พรธีระภัทร , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Arckom Srihapat , Chana Leepattarapongpan , Naritchaphan Penpondee , Putapon Pengpad , Praphaphan Wipatawit , Supanit Porntheeraphat . (2552). อุปกรณ์ตรวจจับสนามแม่เหล็กชนิดตัวต้านทานแม่เหล็กแบบฟิล์มบาง NiFe หนึ่งชั้น.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
อาคม ศรีหาเพท , ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , พุทธพล เพ็งพัด , ประภาพรรณ วิภาตวิทย์ , ศุภนิจ พรธีระภัทร , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Arckom Srihapat , Chana Leepattarapongpan , Naritchaphan Penpondee , Putapon Pengpad , Praphaphan Wipatawit , Supanit Porntheeraphat . 2552. "อุปกรณ์ตรวจจับสนามแม่เหล็กชนิดตัวต้านทานแม่เหล็กแบบฟิล์มบาง NiFe หนึ่งชั้น".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
อาคม ศรีหาเพท , ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , พุทธพล เพ็งพัด , ประภาพรรณ วิภาตวิทย์ , ศุภนิจ พรธีระภัทร , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Arckom Srihapat , Chana Leepattarapongpan , Naritchaphan Penpondee , Putapon Pengpad , Praphaphan Wipatawit , Supanit Porntheeraphat . "อุปกรณ์ตรวจจับสนามแม่เหล็กชนิดตัวต้านทานแม่เหล็กแบบฟิล์มบาง NiFe หนึ่งชั้น."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2552. Print.
อาคม ศรีหาเพท , ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , พุทธพล เพ็งพัด , ประภาพรรณ วิภาตวิทย์ , ศุภนิจ พรธีระภัทร , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Arckom Srihapat , Chana Leepattarapongpan , Naritchaphan Penpondee , Putapon Pengpad , Praphaphan Wipatawit , Supanit Porntheeraphat . อุปกรณ์ตรวจจับสนามแม่เหล็กชนิดตัวต้านทานแม่เหล็กแบบฟิล์มบาง NiFe หนึ่งชั้น. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2552.