ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror
นักวิจัย : Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ
คำค้น : Curl compensation , MEMS , Micromirror , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2549
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/16285
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This paper reports a design to compensate overlapping area reduction in MEMS Micromirror. The electromechanical behavior of a 300x300 m mirror actuated by electrostatic comb drive is simulated by CoventorWareTM. The interdigitated fingers are 240 m long and 20 m wide separated by 20 m gap. The displacement of the mirror is compared when the frame of stator is released and fixed. The simulation shows that released-frame stator produces more displacement in z direction than fixed-frame stator by the factor of 3 when 50V DC voltage is applied. The improvement in micromirror actuation is as a result of the increase of overlapping area provided by curl compensation with released-frame approach. Therefore, the released-frame design is a promising method to reduce input voltage and enhance efficiency of electrostatic comb drive micromirror./This paper reports a design to compensate overlapping area reduction in MEMS Micromirror. The electromechanical behavior of a 300x300 m mirror actuated by electrostatic comb drive is simulated by CoventorWareTM. The interdigitated fingers are 240 m long and 20 m wide separated by 20 m gap. The displacement of the mirror is compared when the frame of stator is released and fixed. The simulation shows that released-frame stator produces more displacement in z direction than fixed-frame stator by the factor of 3 when 50V DC voltage is applied. The improvement in micromirror actuation is as a result of the increase of overlapping area provided by curl compensation with released-frame approach. Therefore, the released-frame design is a promising method to reduce input voltage and enhance efficiency of electrostatic comb drive micromirror.

บรรณานุกรม :
Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . (2549). Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . 2549. "Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . "Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2549. Print.
Adisorn Tuantranont , K. Hemarat , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , การวิก เหมะรัต , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . Simulation of Curl Compensation in MEMS Micromirror. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2549.