ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Vacuum and Air Annealing Effects on Properties of Indium Tin Oxide Films Prepared by Ion-Assisted Electron Beam Evaporation

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Vacuum and Air Annealing Effects on Properties of Indium Tin Oxide Films Prepared by Ion-Assisted Electron Beam Evaporation
นักวิจัย : Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , Mati Horprathum , มติ ห่อประทุม , อาทร โภไคยพิสิฐ , พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ
คำค้น : Annealing temperature , Electron beam evaporation , Indium tin oxide , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/15070
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Indium tin oxide (ITO) films were deposited on glass substrates by ion-assisted electron beam evaporation, followed by annealing in vacuum and air at different temperatures from 200 to 350 C with an interval of 50 C for 1 h. The deposited films were analyzed by a four-point probe method, Hall effect measurement, an X-ray diffraction technique, spectrophotometry, and atomic force microscopy. Results show that the electrical resistivity of ITO films depends on annealing temperature. Its lowest value of 1:07 104 cm is obtained at an annealing temperature of 350 C in vacuum. The optical transmittance of ITO films with a thickness of 500 nm for annealing in air is higher than that in vacuum. The optical band gap and grain size increase with increasing annealing temperature.

บรรณานุกรม :
Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , Mati Horprathum , มติ ห่อประทุม , อาทร โภไคยพิสิฐ , พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ . (2551). Vacuum and Air Annealing Effects on Properties of Indium Tin Oxide Films Prepared by Ion-Assisted Electron Beam Evaporation.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , Mati Horprathum , มติ ห่อประทุม , อาทร โภไคยพิสิฐ , พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ . 2551. "Vacuum and Air Annealing Effects on Properties of Indium Tin Oxide Films Prepared by Ion-Assisted Electron Beam Evaporation".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , Mati Horprathum , มติ ห่อประทุม , อาทร โภไคยพิสิฐ , พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ . "Vacuum and Air Annealing Effects on Properties of Indium Tin Oxide Films Prepared by Ion-Assisted Electron Beam Evaporation."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print.
Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , Mati Horprathum , มติ ห่อประทุม , อาทร โภไคยพิสิฐ , พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ . Vacuum and Air Annealing Effects on Properties of Indium Tin Oxide Films Prepared by Ion-Assisted Electron Beam Evaporation. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.