ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์
นักวิจัย : พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom
คำค้น : Ellipsometry , Optical physics , Optics and opto-electronic physics , Physical sciences , การเคลือบฟิล์ม , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาเทคโนโลยีสารสนเทศและนิเทศศาสตร์ , หัวอ่านฮาร์ดดิสก์ , อิลิปโซมิตรี
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2552
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/4996
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

เทคโนโลยีทางแสงที่ใช้ในการควบคุมการเคลือบฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดดิส์กที่ใช้กันอยู่ในปัจจุบันนี้ คือ in-situ ellipsometry และยังคงเป็นเทคนิคเดียวที่ยังคงใช้กันภายใน 5 ปีข้างหน้า เนี่องจากยังไม่มีเทคนิคใดที่สามารถวัดความหนาฟิล์มบางในระดับต่ำกว่า 10 นาโนเมตรได้อย่างแม่นยำ อย่างไม่ทำลาย และใช้เวลาสั้นเพียงไม่กี่วินาที ซึ่งจำเป็นสำหรับการควบคุมการปลูกฟิล์มคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดดิสก์ที่ต้องการความแม่นยำสูง อย่างไรก็ตามความหนาของฟิล์มดังกล่าวกำลังลดลงเรื่อยๆ ปัจจุบันอยู่ที่ความหนาเพียง 2 นาโนเมตร ด้วยความหนาฟิล์มต่ำกว่า 1/100 เท่าของความยาวคลื่นแสงที่ใช้ในการวัด เราจึงเข้าใกล้ขีดจำกัดของการใช้เทคนิคอิลิปโซมิตรีเข้าทุกที จึงจำเป็นต้องมีการศึกษาเพื่อวิเคราะห์หาความถูกต้องแม่นยำหรือขีดจำกัดของโมเดลที่ใช้ในเทคนิคทางแสงนี้อย่างละเอียดถี่ถ้วนขึ้น นอกจากนี้ ค่า n และ k ของวัสดุที่ถูกต้องแม่นยำก็จะช่วยให้โมเดลและผลการวัดมีความถูกต้องมากขึ้น

บรรณานุกรม :
พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom . (2552). โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom . 2552. "โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom . "โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2552. Print.
พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , Pongpan Chindaudom . โมเดลอิลิปโซมิตรีสำหรับควบคุมฟิล์มบางคาร์บอนบนหัวอ่านฮาร์ดิสก์. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2552.