ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Quantitative Analysis of X-ray Lithographic Pores by SEM Image Processing

หน่วยงาน สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Quantitative Analysis of X-ray Lithographic Pores by SEM Image Processing
นักวิจัย : Udomchok Phromsuwan , Yaowarat Sirisathitkul , Chitnarong Sirisathitkul , Paisarn Muneesawang , Bunyarit Uyyanonvara
คำค้น : Image processing , Image segmentation , Macropore , SEM , X-ray lithography
หน่วยงาน : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2556
อ้างอิง : Journal of metrology society of India. 28, 4 (2013) pp. 327-333 , 0970-3950 , http://dspace.library.tu.ac.th/handle/3517/7344
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Arrays of regular macropores in electronic, magnetic, photonic and sensing devices can be patterned by X-ray lithography. Such structures inevitably contain some irregularity and require time-consuming pattern inspections. In this work, a pattern inspection by intensity-based digital image processing procedure is proposed and tested on scanning electron microscopy images of porous SU-8 polymer resist. The Otsu's thresholding converted grayscale to binary images and the closing morphology algorithm was applied to reduce noise in the images. The Canny edge detector was used to identify the contour of each pore by detecting abrupt intensity changes in the binary image. Pores were detected and their sizes were subsequently evaluated. The morphological distributions analyzed by this procedure are comparable to those carried out by the one-by-one human inspection. © 2013 Metrology Society of India.

บรรณานุกรม :
Udomchok Phromsuwan , Yaowarat Sirisathitkul , Chitnarong Sirisathitkul , Paisarn Muneesawang , Bunyarit Uyyanonvara . (2556). Quantitative Analysis of X-ray Lithographic Pores by SEM Image Processing.
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Udomchok Phromsuwan , Yaowarat Sirisathitkul , Chitnarong Sirisathitkul , Paisarn Muneesawang , Bunyarit Uyyanonvara . 2556. "Quantitative Analysis of X-ray Lithographic Pores by SEM Image Processing".
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Udomchok Phromsuwan , Yaowarat Sirisathitkul , Chitnarong Sirisathitkul , Paisarn Muneesawang , Bunyarit Uyyanonvara . "Quantitative Analysis of X-ray Lithographic Pores by SEM Image Processing."
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ , 2556. Print.
Udomchok Phromsuwan , Yaowarat Sirisathitkul , Chitnarong Sirisathitkul , Paisarn Muneesawang , Bunyarit Uyyanonvara . Quantitative Analysis of X-ray Lithographic Pores by SEM Image Processing. กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ ; 2556.