ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Error compensation of grating interferometer due to angular error of linear stage

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Error compensation of grating interferometer due to angular error of linear stage
นักวิจัย : Fan, Kuang-Chao , Zhang, Y. L. , Miao, J. W. , Cheng, Fang
คำค้น : DRNTU::Engineering::Mechanical engineering::Mechatronics
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2555
อ้างอิง : Fan, K.-C., Zhang, Y. L., Miao, J. W., & Cheng, F. (2012). Error compensation of grating interferometer due to angular error of linear stage. 2012 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics (AIM), pp.428-431. , http://hdl.handle.net/10220/16510 , http://dx.doi.org/10.1109/AIM.2012.6265886
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Linear Diffraction Grating Interferometer (LDGI) is a long stroke and nanometer resolution displacement sensor for any linear stages. The principle of this diffractive interferometer is based on the Littrow configuration and phase information encoded by the ±1st order beams diffracted by a holographic grating. Because the emitted beams are separated on the grating plane, the yaw error of the stage during motion will cause the optical path difference of the two beams resulting in phase shift. This study investigates the influence of the yaw error. Experiments show that after yaw error compensation, the LDGI readings can be significantly improved.

บรรณานุกรม :
Fan, Kuang-Chao , Zhang, Y. L. , Miao, J. W. , Cheng, Fang . (2555). Error compensation of grating interferometer due to angular error of linear stage.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Fan, Kuang-Chao , Zhang, Y. L. , Miao, J. W. , Cheng, Fang . 2555. "Error compensation of grating interferometer due to angular error of linear stage".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Fan, Kuang-Chao , Zhang, Y. L. , Miao, J. W. , Cheng, Fang . "Error compensation of grating interferometer due to angular error of linear stage."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2555. Print.
Fan, Kuang-Chao , Zhang, Y. L. , Miao, J. W. , Cheng, Fang . Error compensation of grating interferometer due to angular error of linear stage. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2555.