ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography
นักวิจัย : Singh, Vijay Raj , Miao, Jianmin , Wang, Zhihong , Hegde, Gopalkrishna M. , Anand, Asundi
คำค้น : DRNTU::Science::Physics::Optics and light.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : Singh, V. R., Miao, J., Wang, Z., Hegde, G. M., & Asundi, A. (2007). Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography. Optics communications, 280(2), 285-290. , 0030-4018 , http://hdl.handle.net/10220/7003 , http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2007.08.030 , 143340
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Optics communications
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

In this paper dynamic characterization of a MEMS diaphragm is investigated using lens-less time averaged in-line digital holography. The analysis and capability of the numerically reconstructed amplitude and phase information from in-line time averaged holograms as applied to MEMS vibration are presented. Particularly the effect of mean static state on the phase in time averaged digital holography is explored. A novel double exposure method is also demonstrated using a diverging object wave suitable for dynamic characterization of small size objects. A phase jump in the static deformation fringes in the vibrating regions is observed and described and can be used for precise analysis of vibration mode shape under simultaneous presence of mean static deformation. A simple and robust tool for dynamic optical metrology of MEMS devices and micro-objects using time averaged in-line digital holography is thus proposed.

บรรณานุกรม :
Singh, Vijay Raj , Miao, Jianmin , Wang, Zhihong , Hegde, Gopalkrishna M. , Anand, Asundi . (2550). Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Singh, Vijay Raj , Miao, Jianmin , Wang, Zhihong , Hegde, Gopalkrishna M. , Anand, Asundi . 2550. "Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Singh, Vijay Raj , Miao, Jianmin , Wang, Zhihong , Hegde, Gopalkrishna M. , Anand, Asundi . "Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2550. Print.
Singh, Vijay Raj , Miao, Jianmin , Wang, Zhihong , Hegde, Gopalkrishna M. , Anand, Asundi . Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2550.