ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การสร้างเครื่องมือวัดสุญญากาศแบบโคลด์แคโธดไอออนไนเซชัน

หน่วยงาน ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การสร้างเครื่องมือวัดสุญญากาศแบบโคลด์แคโธดไอออนไนเซชัน
นักวิจัย : ธเนศ อุดมคณารักษ์
คำค้น : สุญญากาศ , โคลด์แคโธดไอออนไนเซชัน , การสอบเทียบ , VACUUM , COLD-CATHODE IONIZATION , CALIBRATED
หน่วยงาน : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2544
อ้างอิง : http://www.thaithesis.org/detail.php?id=1707
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

เครื่องมือวัดสุญญากาศแบบโคลด์แคโธดไอออนไนเซชัน ในทางการค้าเรียก ฟิลิปเกจ หรือเพนนิ่งเกจ ใช้วัดความดันที่ 5.0x10(-3) ถึง 1.0x10(-6) mbar ถือว่าเป็นระดับความดัน ที่ต่ำมาก เครื่องมือวัดที่สร้างขึ้นประกอบด้วยส่วนสำคัญ 2 ส่วนคือ ส่วนที่เป็นหัววัด ประกอบด้วยตัวหัววัดทำด้วยเหล็กกล้าไร้สนิมกลึงขึ้นรูปทรงกระบอกและใช้ทำเป็นขั้วลบ ทางไฟฟ้า แกนกลางใช้ลวดทังสเตนบริสุทธิ์ 97 เปอร์เซ็นต์ ทำเป็นขั้วบวกทางไฟฟ้า โดยมี แม่เหล็กถาวรรูปทรงกระบอกหุ้มอยู่ด้านนอกโดยให้ทิศทางของสนามแม่เหล็กตั้งฉากกับ สนามไฟฟ้าที่เกิดขึ้น ส่วนเครื่องควบคุมจะจ่ายแรงดันไฟฟ้าประมาณ 2500 โวลต์ ให้กับ หัววัดและแสดงผลค่าความดันที่วัด เครื่องมือวัดชนิดนี้ใช้หลักการวัดกระแสไฟฟ้าที่เกิดจาก โมเลกุลของก๊าซที่ถูกไอออนไนซ์ในสนามไฟฟ้าและเพิ่มปริมาณการเกิดประจุด้วยสนามแม่เหล็ก โดยขนาดของกระแสไฟฟ้าที่วัดได้นี้จะบ่งบอกถึงระดับความดันภายในระบบ เครื่องมือวัดที่ สร้างขึ้นได้รับการสอบเทียบเพื่อสร้างสเกลค่าความดันกับเพนนิ่งเกจของบริษัท BALZERS รุ่น DN401SO-KF และสอบเทียบเพื่อวิเคราะห์ระบบการวัดกับเพนนิ่งเกจของบริษัท EDWARDS รุ่น AIM-S-NW25 เครื่องมือที่สร้างขึ้นมีความคลาดเคลื่อนร้อยละ 2-15 ในช่วงความดัน 8.0x10(-4) ถึง 2.0x10(-5) mbar เมื่อวัดเทียบกับเครื่องของบริษัท EDWARDS เครื่องมือ วัดที่สร้างขึ้นนี้ใช้วัสดุอุปกรณ์ทั้งหมดจัดหาได้ภายในประเทศและใช้งบประมาณในการสร้าง ประมาณ 25,000 บาท ถ้าสั่งซื้อจากต่างประเทศราคาประมาณ 90,000 บาท สำหรับรุ่นที่ แสดงผลแบบอะนาลอก และรุ่นแสดงผลแบบดิจิตอลราคาประมาณ 110,000 บาท

บรรณานุกรม :
ธเนศ อุดมคณารักษ์ . (2544). การสร้างเครื่องมือวัดสุญญากาศแบบโคลด์แคโธดไอออนไนเซชัน.
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
ธเนศ อุดมคณารักษ์ . 2544. "การสร้างเครื่องมือวัดสุญญากาศแบบโคลด์แคโธดไอออนไนเซชัน".
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
ธเนศ อุดมคณารักษ์ . "การสร้างเครื่องมือวัดสุญญากาศแบบโคลด์แคโธดไอออนไนเซชัน."
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย, 2544. Print.
ธเนศ อุดมคณารักษ์ . การสร้างเครื่องมือวัดสุญญากาศแบบโคลด์แคโธดไอออนไนเซชัน. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย; 2544.